CIM-3140MPT透磁率测量装置是一款样品透磁测量设备 ，主要用于磁性溅射靶材包括PTFmean 、PTFwarp、PTFrange 、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、%PTFstdev等参数测量 ，并对测试结果进行统计分析 ，可绘制PTF曲线图 、%PTF曲线图。
CIM-3140MPT透磁率测量装置具有文件管理 、测试和数据（图形）输出等功能， 可满足用户对磁性溅射靶材的测试、数据（报告）输出及数据管理等需求。
使用环境
供电电源：单相200V～240V，50Hz±10%
环境温度 ：23±5℃
环境湿度 ：30～75%RH
外磁场干扰：应绝对避免
热平衡时间：10分钟
请将测试工作台摆放在坚实及平整的地面上，并将工作台安装平稳牢固 。
技术参数
项目 | 指标 | |||
输入电源 | AC 200~240V 50/60Hz | |||
外形尺寸 | 1200mmx800mmx1400mm (长 * 宽 * 高) | |||
总 功 率 | 约500W | |||
系统控制 | PC+6616PX 16位数据采集卡 | |||
X单轴行程 | 0-250mm ，电动调节 | |||
Z单轴行程 | 0-200mm ，手动调节 | |||
R旋转轴 | 角度刻线间隔5度，旋转速度1-6度/秒可调 | |||
测试时间 | 测试时间可调 ，最快60秒/圈 | |||
测量范围 | 试样外径Φ100mm∽Φ600mm 、高度≤50mm | |||
磁强计 | 量程 | 1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs | ||
测量精度 | 满量程达0.5% | |||
测量最小面积 | 标配探头 ：4.3mm宽*1.2mm厚 | |||
测量参数 | PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin 、%PTFmean 、%PTFwarp | |||
A/D数据采集 | 16Bits，旋转分辨率 ：＞12000点/360º | |||
测量结果重复度 | 小于0.5% | |||
测量软件 | Windows 7运行环境 ，测量数据可以EXCEL形式保存在硬盘 ，可随时查询 | |||
测量报告 | 透磁场坐标和透磁率坐标 | |||
合格判定 | 按标准进行判定 | |||